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                潔凈空氣解決方案提供商
                全國統一服務(wù)電話(huà):400 0377 123

                華世潔


                行業(yè)概括

                半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。揮發(fā)性有機廢氣主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序,在這些工序中要用有機溶液(如異丙醇對晶片表面進(jìn)行清洗,其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來(lái)源之一;同時(shí),在光刻、刻蝕等過(guò)程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的有機溶劑,如醋酸丁酯等在晶片處理過(guò)程中也要揮發(fā)到大氣中,是有機廢氣產(chǎn)生的又一來(lái)源。半導體制造工藝中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。在工藝過(guò)程中,這些有機溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放。


                行業(yè)解決方案

                目前,有機廢氣排放處理措施采用大風(fēng)量低濃度,其處理一般采用吸附濃縮與焚燒相結合的方法,處理效率在95%以上。


                案例一:某知名手機玻璃美企采用華世潔轉輪一體機

                分子篩轉輪+熱氧化 ? 蓄熱式熱氧化RTO ? 吸附回收


                服務(wù)客戶(hù)

                電子(圖1)
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